微型精密零件加工是一種制造過程，它使用具有幾何定義切削任機械微型工具來制造非常小的零件。用剪材方法制造，至少某些尺寸在微米范圍內的產品或特征。

用于微加工的刀具直徑可能小至0.001英寸。精密零件加工的微加工技術可以精密加工到千分之一毫米，有助于使微小零件的生產更加高效和現實，也成為微型尺度機械制造。

微機械加工逐個制造產品，幫助建立零件之間尺寸的一致性。傳統的加工方法有典型的撤銷，洗銷，制造，鑄造等。然而，隨著集成電路的誕生和發展，上世紀90年代后期出現并發展了一種新技術。微加工技術生產中常常利用具有一定能量的粒子輻射性，如電子束，離子束，光束等，與固體表面相互作用，產生物理和化學變化，從而達到預期的目的。

微加工技術是非常靈活的通可以生產形狀復雜的微型部件，它可以應用于廣泛的材料。它的適應性實際，特別是用于快速從想法到圓形的運行，復雜3D結構的制造以及迭代產品設計和開發。

微加工技術可應用于各種材料，這些材料包括聚合物、金屬、合金和其他硬質材料。然而，許多這些材料的缺點使它們是一次性的，并且不允許輕松復制。